利用微波真空方式干燥蜂蜜速度快、温度低，干燥后的固体蜂蜜较好地保留了蜂蜜原有的品质。干燥过程中不会发生美拉德反应，干燥后的蜂蜜颜色基本没有变化，干燥前后其挥发性香气成分虽有一定变化，但不影响其原始风味。国内近几年这方面的技术应用逐渐增多，如玉米片真空微波加工生产线，采用微波蒸煮干燥新工艺实现了玉米片连续化工业生产。此外，微波真空干燥还可加工生产蛋黄粉、蘑菇类等。
压力越低，水的沸点温度越低，物料中水分扩散速度加快。微波真空谐振腔内真空度的大小主要受限于击穿电场强度，因为在真空状态下，气体分子易被电场电离，而且空气、水汽的击穿场强随压力而降低；电磁波频率越低，微波盒饭加热设备，气体击穿场强越小。气体击穿现象发生在微波馈能耦合口以及腔体内场强集中的地方。
击穿放电的发生不仅会消耗微波能，而且会损坏部件并产生较大的微波反射，缩短磁控管使用寿命。如果击穿放电发生在食品表面，则会使食品焦糊，一般20kV/m的场强就可击穿食品(介电常数不同)。所以正确选择真空度大小非常重要，真空度并非越高越好，过高的真空度不仅能耗增大，而且击穿放电的可能性增大。
由于物料种类和状态千差万别，微波真空干燥工艺并非固定不变。事实上，在微波真空干燥过程中，微波盒饭加热设备制造厂家，物料内部逐渐形成疏松多孔状，其内部的导热性开始减弱，即物料逐渐变成不良的热导体。随着微波真空干燥过程的进行，内部温度会高于外部，物料体积愈大，其内外温度梯度就愈大，微波盒饭加热设备安装，内部的热传导不能平衡微波所产生的温差，使温度梯度达到不能接受的水平。
因此，一般应预先把物料处理到较小的粒状或片状以改进干燥的效果。粉末状产品在微波干燥时具有其性。当它们被堆积在一起时不应看成是许多小颗粒，而是一个整体，需要特别注意料层的内外温差。一般当物料以较大的形式出现时，需在物料接近减速干燥期时，降低微波功率，从而有效减少其内外温差，但反效果是延长了干燥时间。
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